1.Capul de detectare cu laser și etapa de scanare a probei sunt integrate, structura este foarte stabilă, iar anti-interferența este puternică
2. Dispozitiv de poziționare a sondei de precizie, reglarea alinierii spotului laser este foarte ușoară
3. Proba de antrenare cu o singură axă se apropie automat de sonda pe verticală, astfel încât vârful acului să fie perpendicular pe scanarea probei
4. Metoda inteligentă de alimentare cu ac de detectie automată ceramică piezoelectrică presurizată controlată de motor protejează sonda și proba
5. Poziționare optică automată, fără a fi nevoie de focalizare, observare și poziționare în timp real a zonei de scanare a probei sondei
6. Suspensie de primăvară metodă anti-șoc, simplă și practică, efect bun anti-șoc
7. Cutie izolată fonic ecranat cu metal, senzor de temperatură și umiditate de înaltă precizie încorporat, monitorizare în timp real a mediului de lucru
8. Scaner integrat cu corecție neliniară editor de utilizator, caracterizare nanometrică și precizie de măsurare mai bună de 98%
| Mod de operare | modul atingere, modul atingere |
| Mod opțional | Frecare/forță laterală, amplitudine/fază, forță magnetică/electrostatică |
| curba spectrului de forță | Curba forței FZ, curba RMS-Z |
| Interval de scanare XY | 20*20um, opțional 50*50um, 100*100um |
| Raza de scanare Z | 2,5um, opțional 5um, 10um |
| Rezoluția scanării | Orizontală 0,2 nm, verticală 0,05 nm |
| Marime de mostra | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Exemplu de călătorie pe etapă | 15*15mm |
| Observație optică | Obiectiv optic 4X/rezoluție 2,5um |
| Viteza de scanare | 0,6 Hz-30 Hz |
| Unghiul de scanare | 0-360° |
| Mediul de operare | Sistem de operare Windows XP/7/8/10 |
| Interfață de comunicare | USB2.0/3.0 |
| Design cu absorbție a șocurilor | Cutie suspendată cu arc/Ecranat metalic |
